Электронный зонд
В основе действия электронного зонда лежит свойство электронного луча вызывать рентгеновское излучение, характерное для вещества антикатода, которым в данном случае является исследуемое вещество. Полученное рентгеновское излучение анализируют при помощи рентгеноспектрографа.
Электронный зонд (рис. 107) состоит из собственно зонда, держателя с образцом, оптической системы и рентгеноспектрографов.
Электронный луч из излучающей головки (раскаленной проволоки) через систему фильтров и магнитных конденсаторов попадает в определенную точку исследуемого образца (поверхностью 1 мкм).
Возникающее в результате этого яркое пятно устанавливают при помощи специального микроскопа с зеркальным объективом.
Для анализа рентгеновского излучения служат два спектрографа: один — для определения элементов с порядковыми номерами от 11 до 17, другой — выше 17.
Образцы исследуемого вещества готовят в виде цилиндров определенного размера; при помощи соответствующего устройства образец можно перемещать в различных направлениях, благодаря чему может быть исследована любая точка образца. Для качественного и количественного определения элементов служит набор эталонных образцов, которые размещают вокруг исследуемого образца. Электронный зонд с успехом можно использовать для изучения включений при анализе осадков, исследования интерметаллических диффузионных процессов, а также процессов кристаллизации различных фаз.