Продолжительность откачки. Часть 1

Все рассмотренные положения относятся к установившимся системам, в которых давление в каждой точке системы не изменяется во времени. Однако в вакуумной технике не меньшее значение имеют расчеты времени откачки системы или времени повышения давления до заданного значения при поступлении в нее газа. В такие периоды давление в любой выбранной точке системы непрерывно изменяется. Зная закономерности откачки газа из системы, можно подсчитать продолжительность откачки и в зависимости от этого выбрать соответствующие средства откачки. Далее под названием «насос» подразумевается насос любой конструкции или ловушка, или отверстие, характеризующиеся скоростью откачки S1 при давлении P1 у входа в насос. Если в камере находится газовая смесь, то следует учитывать парциальное давление рассматриваемого газа.

Обозначим через L пропускную способность трубопровода; S —скорость откачки у входа в откачиваемый объем; р -—давление в этом объеме; р0 —предельное давление, до которого может происходить откачка. Величина р0 зависит от типа применяемого насоса и от натекания во всейсистеме. Натекание происходит через неплотности в аппаратуре, а также в результате десорбции и выделения воздуха из жидкостей и твердых тел, находящихся внутри вакуумной системы.

Откачка из камеры при постоянной скорости откачки S1 = const, бесконечно большой пропускной способности трубопровода L —* оо и пренебрежимо малом давлении р0— 0. При таких допущениях S = S1, и полученные результаты одинаково применимы как для вязкостного, так и для молекулярного режима течения.

Поток газа Q можно выразить следующим образом:

(38)

Тогда откуда и

Время, необходимое для того, чтобы давление уменьшилось вдвое,

Вообще говоря, чтобы изменить давление от р, до необходимо время

Время, необходимое для уменьшения давления в 10 раз,

Тогда

Откачка из камеры при постоянной скорости откачки S1 = const,. бесконечно большой пропускной способности трубопровода L —» оо и предельном давлении р0. При таких допущениях S = S1 и полученные результаты применимы как для вязкостного, так и для молекулярного режимов течения. При достижении предельного давления р0 в системе существует поток газа

Таким образом, во время откачки следует принимать во внимание только поток

 

Другие части:

Продолжительность откачки. Часть 1

Продолжительность откачки. Часть 2

Продолжительность откачки. Часть 3

Продолжительность откачки. Часть 4

Продолжительность откачки. Часть 5